Изделия микросистемной техники (МСТ)

Появление микроминиатюрных устройств, в которых гальванические (электрические) подсистемы интегрируются на микроуровне с механическими, породило новое направление микросистемной техники, получившей название МЭМС-системы. Использование МЭМС-систем позволило создать новый тип электромеханических устройств, значительно превосходящий традиционные по массогабаритным характеристикам, надежности, времени срабатывания, потребляемой мощности и стоимости. При изготовлении микроэлектромеханических систем используется технология поверхностной микромеханики (технология МЭМС).